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一种振膜材料、制备方法及声波传感器
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本发明提供一种振膜材料、制备方法及声波传感器；振膜材料包括硅膜和石墨烯膜；其中，所述石墨烯膜通过范德华力生长在所述硅膜上，形成石墨烯‑硅范德华异质结；所述硅膜的厚度在200纳米‑100微米之间；所述硅膜的表面粗糙度在0.0001微米‑0.01微米之间；所述石墨烯膜所包含的石墨烯层的层数小于或等于10层。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN202310528757.7
申请日期： 2023-05-11
公开(公告)日： 2023-08-25
公开(公告)号： CN116639694A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 实质审查
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