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一种共振隧穿铁电隧道结
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本发明涉及一种共振隧穿铁电隧道结。一种共振隧穿铁电隧道结，包括依次堆叠的：下电极、第一铁电层、绝缘层、第二铁电层和上电极；其中，所述第一铁电层和所述第二铁电层的厚度不同；所述绝缘层的势垒高度既低于所述第一铁电层的势垒高度，又低于所述第二铁电层的势垒高度。本发明具有非对称的三势垒结构，并且为势垒‑势阱‑势垒结构，从而引入了共振隧穿效应，有效地提高了开态电流，同时提高隧穿电阻比值，解决了现有技术中开态电流和隧穿电阻比值不能兼顾的问题。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN202211138016.X
申请日期： 2022-09-19
公开(公告)日： 2023-03-24
公开(公告)号： CN115843210A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 实质审查
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