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本发明提供了一种超快激光高效耦合微细射流的装置及方法，包括：装置主体及超快激光传输通道；装置主体内从上到下依次为层流腔室、光学窗口、喷嘴元件和气体腔室；超快激光经过光学窗口，穿过厚度可调的层流水层，聚焦到喷嘴元件后形成等径传输长度的耦合微细射流，气体腔室与超快激光传输通道同轴；装置主体上半部分设有多个与超快激光传播方向平行的层流腔室，层流腔室内设有层流扇叶；气体腔室设有进气口，底部设有平滑耦合微细射流的气体出口。此装置及方法实现了超快激光与微细射流高效稳定耦合。
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