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本发明涉及一种扫描电镜内原位蠕变与疲劳测试点追踪定位方法及系统。该方法包括：当扫描电镜第一次观察待测样品时，利用扫描电镜在不同放大倍数下分别选取所述待测样品上明显的特征点所处区域作为定位图像；记录不同放大倍数下每张定位图像对应的扫描电镜样品台的位置坐标；当扫描电镜再次观察待测样品时，按照由小到大的放大倍数，提升所述扫描电镜的放大倍数，并获取不同放大倍数下的待测样品图像；对比不同放大倍数下的待测样品图像以及不同放大倍数下的定位图像，并根据不同放大倍数下定位图像对应的扫描电镜样品台的位置坐标调整所述扫描电镜样品台的当前位置，定位所述观测点。本发明能够快速准确的定位所要观测的特征点。
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