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本发明公开了基于弹性网络算法补偿三坐标测量机几何误差的方法，建立激光追踪多站测量模型，利用L‑M算法求解激光追踪仪多站位测量系统提供的冗余方程获得激光追踪仪站位坐标。利用GPS定位原理结合L‑M算法求解三坐标测量机测量点的实际位置，将测量点实际位置与规划位置做差得到体积误差。根据三坐标测量机准刚体模型获得体积误差与几何误差的数学模型，使用弹性网络算法求解该模型获得三坐标测量机的17项几何误差。利用体积误差与单轴几何误差的关系，求解4项旋转误差。为验证补偿后三坐标测量机的测量精度，利用XL80干涉仪与量块对补偿效果进行验证。当进行误差补偿后，与初始状态相比，三坐标测量机的测量精度提升超过50％，且不涉及机械加工。
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