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本发明公开了一种原子级原位变形测量装置。 该装置包括支撑部分,驱动部分和承载部分,支撑部分为金属圆环,承载部分为设置在金属圆环中心位置的圆形结构的表面抛光金属板; 驱动部分包括不少于两个的双金属片组,双金属片组的一端固定连接在金属圆环上,双金属片组的另一端固定连接在金属圆环上; 双金属片组设置在金属板的外切线上,相邻两组双金属片之间的夹角相同; 每个双金属片组包括两个膨胀系数不同的金属片。 说明书的1/2附图3附图。 图1。 2
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