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本发明涉及一种基于振镜扫描系统的太赫兹计算层析三维成像方法,通过振镜扫描系统使得太赫兹光束快速转向,从而提供高质量且均匀的阵列太赫兹波光束,通过振镜畸变矫正方法使得经过振镜偏转的太赫兹波光束都能垂直穿透样品,进而在面阵探测器中获取到强度信息,最后使用计算层析重建算法,重建出无扫描畸变的样品三维内部结构吸收图。相比传统点扫太赫兹计算层析成像技术,该发明保证了重建质量的同时又提高了成像速度,是一种高保真度、快速的新型连续太赫兹波计算层析三维成像解决方案。
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