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本发明涉及微波反应装置技术领域，公开了一种微波等离子体反应器，包括多通道微波传输反应体、自触发点火装置和至少一层微波源组件，多通道微波传输反应体内设有微波谐振腔；每层微波源组件均包括多个微波传输激励源，多个微波传输激励源沿多通道微波传输反应体的周向分布；微波传输激励源的频率与微波谐振腔内的工作模式的谐振频率相等；自触发点火装置包括设于多通道微波传输反应体的端部的锥形点火结构，锥形点火结构的尖部朝向微波谐振腔内；锥形点火结构内设有气流通道，气流通道贯通至锥形点火结构的尖部。该微波等离子体反应器能够有效增强等离子体的能量密度及增大微波反应器内的等离子体区域范围，有利于扩大微波等离子体的应用领域。
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