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郑子龙 (郑子龙.) | 胡双媛 (胡双媛.) | 王如志 (王如志.) (学者:王如志) | 张铭 (张铭.) | 严辉 (严辉.) (学者:严辉)

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本实用新型提供了一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列,属于半导体器件领域。包括增透膜、微透镜阵列和底面,该微透镜阵列填充因子为100%,红外探测器焦平面光能利用率80%以上。进而将该微透镜阵列应用于红外探测器前端,提高整体器件的灵敏度。

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专利基本信息 :

专利类型: 实用新型

申请(专利)号: CN202120801917.7

申请日期: 2021-04-19

公开(公告)日: 2021-10-01

公开(公告)号: CN214336716U

申请(专利权): 北京工业大学

法律状态: 授权

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