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一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列
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本实用新型提供了一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列,属于半导体器件领域。包括增透膜、微透镜阵列和底面,该微透镜阵列填充因子为100%,红外探测器焦平面光能利用率80%以上。进而将该微透镜阵列应用于红外探测器前端,提高整体器件的灵敏度。
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专利基本信息 :
专利类型: 实用新型
申请(专利)号: CN202120801917.7
申请日期: 2021-04-19
公开(公告)日: 2021-10-01
公开(公告)号: CN214336716U
申请(专利权): 北京工业大学
法律状态: 授权
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