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张永哲 (张永哲.) (学者:张永哲) | 李毓佛 (李毓佛.) | 陈永锋 (陈永锋.) | 王佳蕊 (王佳蕊.) | 安博星 (安博星.) | 马洋 (马洋.) | 严辉 (严辉.) (学者:严辉)

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一种单层MoS2‑WS2横向异质结的制备方法,属于纳米材料生长领域。对选择的前驱体源进行电化学氧化处理,实现对应钼、钨两种金属的前驱体源在不同温度挥发,通过化学气相沉积法一步制备微米级清晰界面的横向异质结。本发明生长横向异质结的方法是,在可精确控温的管式炉中,使用惰性气体作为反应源(钼源、钨源和硫源)的输运气体,控制发生不同的化学气相沉积反应形成横向异质结。本发明制备的单层MoS2‑WS2横向异质结,具有微米级清晰的异质结分界线,横向尺寸可达到一百微米以上。该方法生长过程可控性高,能够有效的扩宽生长温度窗口,降低生长温度,实现尺寸、界面可控生长。

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专利类型: 发明申请

申请(专利)号: CN201911084034.2

申请日期: 2019-11-07

公开(公告)日: 2020-02-18

公开(公告)号: CN110808281A

申请(专利权): 北京工业大学

法律状态: 实质审查

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