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本发明公开了一种用于轴承轨道超精密成形磨削加工装置及方法,属于精密超精密加工技术领域。主要由砂轮主轴模块、回转工作台模块、砂轮电火花在位整形模块、金刚石滚轮在位整形模块、ELID精密磨削模块、冷却及过滤模块、在位检测模块、自动上下料模块和控制系统模块组成。本发明将ELID精密磨削技术与多主轴转台式磨床结构设计相结合,采用模块化设计理念,本发明通过在一次装卡中实现对高精度轴承轨道的半精加工、精加工及砂轮的在位整形和在线修锐,并对加工后的工件进行在位检测,保证零件的加工精度、加工效率及加工一致性。
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