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摘要：
本发明公开了一种针对空气静压主轴内部气体流速变化的检测系统，该系统包括1个空气静压主轴系统、1个荧光显微镜、2个CCD相机、1个激光发射器、1个信号控制器和1台PC机；所述的荧光显微镜固定在空气静压主轴的轴套上，荧光粒子充满着主轴的整个气腔，激光发生器的光束透过荧光显微镜，荧光显微镜一端观测着气膜间隙内区域，另一端与CCD相机固定在一起，CCD相机的输出端与PC机相连，PC机再将信号输出给同步控制器，同步控制器再反馈给CCD相机和激光发生器，实现对CCD相机与激光发生器的控制。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201910224818.4
申请日期： 2019-03-24
公开(公告)日： 2019-06-28
公开(公告)号： CN109946478A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 驳回
归属院系：
