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摘要:
本发明公开了一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构,该结构为一种增加供气面积,减弱气体流速从而使气膜内部的压力分布更加均匀,进而达到弱化气膜微振动的目的。一定压力的清洁干燥的气体通过进气孔后流进双层多孔材料,经双层多孔材料表面流入主轴和止推板之间,由多孔材料表面无数孔隙流出的气体,在主轴和止推板之间形成稳定的气膜,气膜包裹着主轴。施加载荷后,由于止推板上表面气膜与下表面气膜厚度不一致导致上、下气膜间产生了压力差,支承着止推板以平衡外载荷。本发明的双层材料可以充分发挥两种多孔材料(基底材料,致密层)的物理性能,从而弱化气膜波动,进一步提高了空气静压轴承的应用精度和气浮工作台的加工精度。
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