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摘要：
一种锡基钎料互连焊点的电子背散射衍射样品的制备方法属于电镜样品制备技术领域。其工艺步骤为：粗磨、粗抛、二次抛光、清洗。其中粗抛过程中的抛光粉为0.3～0.5μm的α‑氧化铝抛光粉，二次抛光过程中的抛光液为0.02～0.05μm的氧化硅悬浮液。本发明对样品的尺寸没有限制，制备工艺简单，无机械研磨工艺，无需使用仪器、设备，不受场地、设施限制，抛光效果好。可以容易的制备锡基钎料焊点EBSD样品，可在扫描电子显微镜上获得清晰的EBSD取向成像图。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明申请
申请(专利)号： CN201711276253.1
申请日期： 2017-12-06
公开(公告)日： 2018-05-22
公开(公告)号： CN108061737A
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 撤回
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