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本发明公开一种基于物理模型的片上供电网络电迁移可靠性分析方法，通过供电网络的SPICE网表解析器导入并构建供电网络结构，并提取出供电网络上供电线的参数。结合工艺参数，建立供电网络电迁移的物理模型。采用基于积分变换的方法求解供电网络互连线上瞬态应力，从而准确地确定供电网络上空洞成核的时间和位置，最后通过将供电网络建模为时变电阻网络，并通过进行静态电压分析，将供电网络上最大电压降超过阈值作为供电网络失效的评判标准，来得到供电网络电迁移失效时间。
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