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一种生长GZO(ZnO : Ga)晶体的方法
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本发明提供了一种生长GzO(ZnO : Ga)单晶的方法,涉及晶体生长技术领域。 该方法可包括以下步骤 : 首先,制备致密、均匀的单相多晶棒; 其次,优化助熔剂的组成和配比; 最后,优化了GZO行溶剂浮区法生长GZO晶体的工艺参数,如生长功率、生长速率和旋转速度等。本发明生长的GZO晶体结晶质量高,生长方向一致,电学性能优异。
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专利基本信息 :
专利类型: 发明授权
申请(专利)号: US14780444
申请日期: 2014-12-31
公开(公告)日: 2016-10-04
公开(公告)号: US9458553B2
申请(专利权): Beijing University Of Technology
法律状态: 授权
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