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一种用于a-Si/nc-Si叠层太阳电池的双功能复合结构微晶硅氧中间层薄膜的制备方法，属于太阳电池技术领域。以SiH4、H2和PH3为反应气体，在高氢气稀释比状态下生长n型微晶硅薄层；以SiH4、H2、PH3和CO2为反应气体，在n型微晶硅层上生长微晶硅氧中间层；以SiH4、H2和PH3为反应气体，在高氢气稀释比状态下生长n型微晶硅薄层；形成三层复合结构。这种方法制备的微晶硅氧中间层薄膜大大提高了a-Si/nc-Si叠层太阳电池的短路电流匹配，同时作为叠层电池中间层和非晶硅顶电池的n层，实现了双功能作用。简化了生产工艺，缩短生产时间，在降低叠层电池生产成本方面起到一定作用。
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