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摘要:
有机玻璃微透镜阵列的激光选区辐照扫描加工方法,属于激光领域。将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后,金属模板置于升降台上,玻璃基片置于模板正下方,而模板与玻片的间距在1‐20mm之间。利用CO2激光在模板上离焦辐照扫描加工,扫描轨迹为等间距的平行直线段阵列,扫描轨迹整体大小与待加工的面积对应;辐照扫描加工后,冷却,完成加工。本发明适用于在有机玻璃基片上加工微透镜阵列,透镜孔径及排布由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定,而透镜深度可通过辐照的功率密度及辐照扫描速度来控制,该加工属于非接触式加工,且加工灵活性强。
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专利基本信息 :
专利类型: 发明授权
申请(专利)号: CN201310247598.X
申请日期: 2013-06-20
公开(公告)日: 2015-07-08
公开(公告)号: CN103273196B
申请(专利权): 北京工业大学
法律状态: 未缴年费
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