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摘要：
本实用新型是一种半导体激光器激光功率实时在线检测装置，属于激光 光电检测领域。本装置包括分光镜、激光输出功率检测部分和工件反射光功 率检测部分。在半导体阵列激光器的光路中放置一片分光镜，从激光器输出 的激光光束和从工件反射光光束中分出来两部分光束，针对半导体激光光束 强度在空间上分布不均匀的特点，分别对两束光进行光强匀化和衰减，之后 再进行放大滤波得到与激光器光功率和工件反射光功率成线性关系的电压信 号，根据电压信号能够计算出激光器输出激光的光功率和工件反射的光功率。 本实用新型实现了高功率半导体阵列激光器激光输出功率和加工时工件反射 光功率的同时在线检测，该装置可以集成到高功率半导体阵列激光器的输出 光路中。
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专利基本信息 ：
专利类型： 实用新型
申请(专利)号： CN200820123290.9
申请日期： 2008-12-31
公开(公告)日： 2009-12-23
公开(公告)号： CN201368769Y
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 期限届满
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