本实用新型属于MEMS构件材料力学性能测试　领域。特征在于，包括测试机、数据采集及电机控制卡和计算　机；测试机构造为：步进电机移动台和手动升降台固定在同一　水平面上；设该水平面相互垂直方向为X和Y方向；手动平　移台带动试样加载台在X方向移动，步进电机移动台带动手动　平移台和试样加载台在Y方向移动；手动升降台带动试样固定　台在竖直方向移动；激光入射在固定在压针上的反射片，反射　后进入PSD传感器；对试样进行加载时，压针通过传力杆将压　力加在触力传感器；数据采集及电机控制卡包括模拟通道选通　模块、信号处理放大模块、A/D转换模块、USB接口模块、电　机控制保护模块、供电电源模块。本方案克服了以往测试设备　庞大，价格昂贵，无法便携缺点。