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微射流阵列冷却热沉，属于微电子技术领域，涉 及一种冷却装置。本发明包括有依次封装在一起的过流片(1)， 射流入口腔片(2)，射流喷嘴片(3)，射流出口片(4)，传热片(5)； 过流片(1)上开有进液口和出液口；射流入口腔片(2)上设有射流 入口腔、进液孔和出液孔；射流喷嘴片(3)上设有与射流入口腔 和设置在射流出口腔片(4)上的射流出口腔相通的射流喷嘴，连 通进液孔和射流入口腔的进液导流通道，连通出液孔和射流出 口腔的出液导流通道；射流出口腔片(4)上设有射流出口腔。本 实用新型实现了高热流通量传热，具有极高的换热速率，有效 地降低了电子器件换热表面的温度，而且能提高换热表面温度 分布的均匀性。
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