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砷化镓场效应晶体管沟道温度测试方法
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砷化镓场效应晶体管沟道温度测试方法属于半导体器件测试技术领域。其特点是：分别在工作状态下加有加热脉冲电压的栅极负偏压以及只加有栅极负偏压且其管芯温度与环境温度相等的条件下测出器件向测量状态转换时的Vgsf与t的曲线和只加负偏压且在设定的不同管芯温度下各V′gsfl与时间的曲线，求出在一定栅极负偏压下的温度系数与时间的关系曲线把冷却曲线经过外推并使用器件多层三维模型求出在任意工作条件下的沟道温度、热阻、峰值沟道温度和峰值热阻。
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专利基本信息 ：
专利类型： 发明授权
申请(专利)号： CN94101005.8
申请日期： 1994-02-08
公开(公告)日： 1997-11-05
公开(公告)号： CN1036357C
申请(专利权)： 北京工业大学
法律状态： 未缴年费
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