Automated　high　resolution　electron　backscatter　diffraction　was　used　to　map　the　local　crystallographic　texture　of　Pt　and　PbZr1-x　Ti　x　O3　(PZT)　thin　films　with　a　resolution　as　high　as　5　nm.　The　Pt　and　PZT　films　consisted　of　99.9%　and　94.3%　{111}　textured　grains　(i.e.,　with　(111)　planes　parallel　to　the　substrate　surface),　respectively.　The　average　Pt　and　PZT　grain　sizes　were　46　±　30　nm　and　65　±　30　nm,　respectively.　Quantification　of　misorientation　distributions　and　the　fraction　of　non-{111}-textured　grains　demonstrates　the　potential　of　this　local　texture　measurement　method　for　quantifying　the　ferroelectric　variability　limits　of　PZT-based　capacitors.　©　2010　Springer　Science+Business　Media,　LLC.